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亚纳米激光工业检测与计量系统

行业类别：软件产品

所处阶段：试生产阶段

持有单位：哈尔滨工程大学

转让方式：技术转让,技术许可,

转让价格：面议

预约服务

成果信息

亚纳米激光工业检测与计量系统是利用偏振激光干涉测量原理，实现对微小位移和振动的高精度非接触式测量，系统的测量分辨率可达0.1nm，振幅测量重复精度3～5nm，还可用于长度、速度、加速度等物理参数的测量，该系统具有精度高、测量范围大、检测时间短、非接触式等优点，测量效率更高、不损伤测量表面、不易受被测对象表面状态影响。)

背景介绍

随着现代高新技术的发展，超精密加工技术应用日益广泛，对超精密加工技术的要求也越来越高，而超精密加工技术的发展离不开先进的测试手段，纳米级的计量测试技术因此显得越来越重要。)

应用前景

亚纳米激光工业检测与计量系统广泛应用于工业精密、超精密加工领域。)

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